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Kovacova, Veronika
Luxembourg Institute of Science and Technology
in Cooperation with on an Cooperation-Score of 37%
Topics
Publications (4/4 displayed)
- 2022Birefringence induced by antiferroelectric switching in transparent polycrystalline PbZr0.95Ti0.05O3 filmcitations
- 2022Piezoelectric thick film for power-efficient haptic actuatorcitations
- 2015Study of correlations between microstructure and piezoelectric properties of PZT thin films ; Etude des corrélations entre la microstructure et les propriétés piézoélectriques des films minces Pb(ZrTi)O3
- 2015Etude des corrélations entre la microstructure et les propriétés piézoélectriques des films minces Pb(ZrTi)O3 ; Study of correlations between microstructure and piezoelectric properties of PZT thin films
Places of action
| Organizations | Location | People |
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thesis
Etude des corrélations entre la microstructure et les propriétés piézoélectriques des films minces Pb(ZrTi)O3 ; Study of correlations between microstructure and piezoelectric properties of PZT thin films
Abstract
Les microsystèmes électromécaniques (MEMS) ont été développés dès le début des années 1980 en s'appuyant sur la technologie de l'industrie microélectronique. Ils ont d'abord été utilisés dans les accéléromètres et les airbags des automobiles. Depuis lors ils se diversifient et connaissent un important essor, notamment grâce à la rapidité De la réponse des matériaux piézoélectriques. La technologie des couches minces piézoélectriques a permis la miniaturisation et les déformations sous tensions d'actionnement plus faibles. Parmi les matériaux piézoélectriques, les films minces de PbZrTiO3 (PZT) morphotropique sont fréquemment utilisés pour leurs propriétés électromécaniques remarquables. Le PZT fabriqué par la voie sol-gel au CEA Leti est à l'état de l'art mondial. Dans le souci de continuer à être compétitif, plusieurs stratégies de R&D sont envisagées, notamment des études approfondies de la microstructure des films PZT pour l'optimiser, afin d'atteindre les propriétés ultimes du PZT. Dans ce but, cette thèse recherche les corrélations entre la microstructure et l'effet piézoélectrique du PZT. Le PZT morphotropique massif, apparu dans les années 1950, est un matériau bien étudié du point de vue microstructurale et piézoélectrique. Il existe plusieurs théories expliquant ses performances piézoélectriques au niveau microscopique. Pour citer les plus connues, le basculement de domaine des phases tétragonale et rhomboédrique, le réarrangement des nano-domaines rhomboédriques, la rotation de l'axe de polarisation dans la phase monoclinique et la transition de phase. Les films minces de PZT morphotropique sont apparus dans les années 1990. Leur microstructure diffère radicalement du PZT massif. Le PZT sol-gel étudié dans ce manuscrit, est contraint et possède une orientation préférentielle des cristaux, des domaines nanométriques et un gradient chimique de Zr et Ti dans l'épaisseur. Notre but est d'étudier les liens entre la microstructure complexe de ces films et leurs propriétés piézoélectriques en utilisant la ...