People | Locations | Statistics |
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Ferrari, A. |
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Schimpf, Christian |
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Dunser, M. |
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Thomas, Eric |
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Gecse, Zoltan |
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Tsrunchev, Peter |
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Della Ricca, Giuseppe |
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Cios, Grzegorz |
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Hohlmann, Marcus |
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Dudarev, A. |
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Mascagna, V. |
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Santimaria, Marco |
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Poudyal, Nabin |
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Piozzi, Antonella |
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Mørtsell, Eva Anne |
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Jin, S. |
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Noel, Cédric |
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Fino, Paolo |
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Mailley, Pascal |
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Meyer, Ernst |
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Zhang, Qi |
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Pfattner, Raphael | Brussels |
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Kooi, Bart J. |
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Babuji, Adara |
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Pauporte, Thierry |
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Edelmann, J.
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Topics
Publications (9/9 displayed)
- 2011Determination of adhesive forces and sticking temperature of coated glasses for the hot-embossing-process ; Bestimmung von Haftkräften und Klebetemperatur von beschichteten Gläsern für den Heißprägeprozeßcitations
- 2010Micro structuring of inorganic glass by hot embossing of coated glass waferscitations
- 2009New coating strategy for hot embossing of glass
- 2009Isothermes Heißprägen von beschichteten Glaswafern ; Isothermal hot-embossing of coated glass wafers
- 2008Isothermes Heißprägen von beschichtetem Glas
- 2008Method for the compensation of process-immanent form deviation in hot embossing of glass ; Methode zur Kompensation der prozessimmanenten Gestaltabweichung bei der Heißformgebung von Glas
- 2008High precision laser structuring of micro forming tools ; Hochgenaue Laserstrukturierung von Mikroabformwerkzeugen
- 2006High temperature micro forming of inorganic glass - an effective replication method ; Hochtemperatur Mikroumformung von anorganischem Glas - eine effektive Replikationsmethode
- 2005Investigations of polycrystalline magnetic shape memory alloys ; Untersuchungen zu polykristallinen magnetischen Formgedächtnislegierungen
Places of action
conferencepaper
Isothermes Heißprägen von beschichtetem Glas
Abstract
7 S. ; Glas ist für die Mikrosystemtechnik ein geeigneter Werkstoff, es können funktionale Strukturen in Array-Anordnungen auf Glaswafern aufgebracht werden. Ihre Herstellung kompliziert sich z.B. beim Blankpressen für mikrooptische Bauelemente durch das Kleben am Preßwerkzeug. Es müssen scharfe Kanten und feine Strukturen im Mikrometerbereich erreicht werden, weshalb isotherm abgeformt werden muß. Berichtet wird über Arbeiten zur Mikrostrukturierung von Glas durch Heißpressen von beschichteten Glaswafern. Statt des Werkzeugs wird hier das Glas beschichtet, wobei die dünne, haftfeste Schicht aus Metallen, amorphem Kohlenstoff oder hochschmelzenden Oxiden bestehen kann. Die Schichten wurden im Prägeprozeß untersucht: durch Prägen mittels Flachwerkzeug (Ermittlung eines Prozeßfensters), durch Analyse der oberflächenphysikalischen Prozesse und durch die Duktilitätsuntersuchung der Schichten bei steigenden Umformraten. Es ergab sich ein stark erweiterter Temperaturbereich für die Umformung des Glases, und es ließ sich außer anderen Gläsern (außer SiO2) auch Borosilicatglas (mit starker Klebeneigung) strukturieren, wodurch die isotherme Heißprägung von beschichtetem Glas zu einem ökonomischen Verfahren werden kann. Die verschiedenen Anwendungsbereiche mikrostrukturierter Gläser können alle mit einer Technologie bedient und die Anforderungen an das Glas durch die Auswahl der geeigneten Gläser erfüllt werden. Untersucht wurden zunächst die kommerziellen Gläser Natron-Kalk-Floatglas und Borofloat 33. Aus dem umfangreichen Schichtwerkstoffsortiment wurden amorpher Kohlenstoff, Goldschichten und Silicium- sowie Titanoxid ausgewählt; Aufbringung und Feststellung der Schichtparameter werden beschrieben. Brauchbarkeitstests wurden aus den applikationstechnischen Anforderungen entwickelt (Klebeneigung, Haftkräfte, Beständigkeit gegen Prozeßtemperaturen). Zur Realisierung des Duktilitätstests wurden möglichst viele verschiedene Schichtdehnungen in einem Prozeßschritt durch Prägung einer stark sphärischen Struktur erzeugt. Im ...